菊池郡菊陽町にある台湾の半導体製造大手ＴＳＭＣの第１工場では使った水の多くをリサイクルすることで、取水量の削減に取り組んでいます。
工場を運営する子会社のＪＡＳＭが半導体の量産開始後、初めて水処理施設を報道公開しました。
【岡崎 宣彰 記者】
「こちらはＪＡＳＭの地下にある水処理施設です。巨大なタンクが立ち並び、配水管が張り巡らされています」
１１月１２日に報道陣に公開された菊陽町にあるＴＳＭＣ第１工場にある水処理施設です。
ＴＳＭＣの子会社・ＪＡＳＭは去年１２月に第１工場で半導体の量産を開始していて、今回の報道公開は量産開始後、初めてとなります。
半導体の製造には大量の水とエネルギーを使うことから、ＴＳＭＣは環境への影響を最小化する『グリーンマニュファクチャリング』に取り組んでいるといいます。
菊陽町の第１工場では、１日当たり最大３万トンの水を使いますが、使った水は全て廃棄せず、リサイクルシステムで処理。平均約７５パーセントのリサイクル率で、第１工場では新たにくみ上げる地下水の量は１日当たり最大７５００トンと、取水量の削減に取り組んでいます。
ＪＡＳＭは「くみ上げた地下水１滴の水を平均４回、繰り返し利用している」と強調します。
また、ＪＡＳＭは田んぼを使った涵養などに取り組んでいて、去年１年間では取水量の１００パーセントを超える５００万トンの地下水涵養を行ったということです。
【ＪＡＳＭ水処理課 可村 雄生太 さん】
「万が一、放流基準を超えるような水が来た場合には、自動弁が閉じて、別の自動弁が開き処理の前段に戻る」
また、排水についても、３６種類に分類し、２４時間体制で数値を細かく管理しています。
国の基準の半分以下で下水処理場に放流していて、社内の基準を超える排水が流れてきた場合は、自動で感知して再処理を行います。
また、関心が高まる有機フッ素化合物・ＰＦＡＳについても活性炭で吸着させ、「排出量を極微量まで低減している」と強調します。
【ＪＡＳＭファシリティーデパートメントマネージャー 坂本 龍治 さん】
「半導体製造に伴う環境負荷、また環境保全への取り組みについて関心が高まっていると考えている。ＰＦＡＳへの取り組みはできる限り最低へ持っていく活動を今後も継続していく」
