合志市に本社を置く東京エレクトロン九州が、新しい開発棟を建設し、10月16日に竣工式が行われた。こちらでは東京エレクトロンが世界シェア1位を誇る、半導体製造装置などの開発が行われる。
コータ/デベロッパや洗浄装置の開発
合志市福原に新たに完成したのは東京エレクトロン九州の『プロセス開発棟』。鉄骨造りの地上3階建てで、延べ床面積は約2万7000平方メートル、建設費用は約470億円。
こちらでは東京エレクトロンが世界シェア1位を誇る『コータ／デベロッパ』と呼ばれる半導体の『微細化』に欠かせない装置などの開発を主に行う。10月16日は竣工式が行われ、東京エレクトロン九州の林伸一社長など関係者が玉串を捧げた。
東京エレクトロン九州の林伸一社長は「これからもチャレンジを続け、当社の装置全てで世界ナンバーワンを目指す」と話す。
クリーンルームの面積は2倍に
また、会見で林社長は「クリーンルームの面積を2倍に増やし、開発した製造装置のデモができる」と述べた上で、「1ナノ以下の半導体や積層技術など顧客が望む次世代の半導体の実現に協力したい」と意欲を示した。
一方、開発棟の竣工が当初の計画よりも1年ほど遅れた理由については「開発棟の仕様の見直しのため」と述べた。
（テレビ熊本）
